金融界 2024 年 8 月 4 日消息,天眼查知识产权信息显示,横店集团东磁股份有限公司取得一项名为“一种槽式硅片烘干装置“,授权公告号 CN221444654U,申请日期为 2023 年 11 月。 专利摘要显示,本实用新型公开了属于硅片烘干技术领域的一种槽式硅片烘干装置,包括烘干槽,烘干槽的内部设有内槽,内槽与烘干槽之间设有空气流道,烘干槽的底部连接有电机,电机的输出端上连接有位于空气流道内部的叶轮,内槽的底部设有密集的通气孔,空气流道的内部设有两根位于内槽两侧的电加热棒,烘干槽的上端设有若干个排气孔,烘干槽的上方铰接有槽盖,槽盖的底面上连接有风管,风管上设有密集的吹气孔。本实用新型在槽盖的底面上设置了风管,风管与氮气气源连接,通过吹气孔向下垂直吹风,增加了内部的空气循环,从而可以避免清洗液残留在花篮上,提高硅片的良品率。 (责任编辑:) |